干式螺杆真空泵的五种分类
干式螺杆真空泵由泵体、泵盖、圆盘、机械密封、叶轮、电动机等零部件组成。干式螺杆真空泵主要可以分为以下5类：
1、双圆裂片式：
双圆裂片式设计和目前流行和广泛应用的罗茨泵非常类似。事实上，一些早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来的。这种多级设计使得气体通路非常复杂，并且每一级都需要很大流量的氮气才能起到稀释和隔离作用。同时，为了可以实现更好的真空度，对各级的间隙有非常严格要求。当然，干式螺杆真空泵这种设计正是因为增加了内部压缩比而使其耗电量相对比较低。
2、三叶圆裂片式：
三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理是相同的，它只是在旋转一圈中将气体分为三份，双圆裂片式设计是分为两份的。三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计有着相同的优缺点。为了进一步降低耗电量，有的厂家在传动部分选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动能力下降。同双圆裂片式设计相同，三叶圆裂片式设计的每一级都需要更大流量的氮气才可以起到稀释和隔离作用。
3、组合式（罗茨+爪）：
组合式（罗茨+爪）设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率，用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路和圆裂片式设计完全一样。也有厂家将其后一级改为星型设计，这样可以在旋转一圈中将气体分为五份，就好比三圆裂片式设计可以将其分为三份。同样，在很多工艺当中，组合式设计的每一级都需要较大流量的氮气才可以起到稀释和隔离作用。
4、外部压缩型螺杆式：
在外部压缩型螺杆式的设计中，使用一对等距的螺杆。这使得内部压缩可以减到更小，同时使得气体通路较短也更加简单。这样，气体在泵体内停留时间也是比较短的。虽然这种设计是因为减少了内部压缩比，而使得其耗电量相对比较高，但在很多复杂半导体工艺中表现出非常高的稳定性。这种单级设计使得其对氮气用量要求也非常小而且比较简单的，这样就使得其在不同工艺中有非常好的互换性。在很多工艺中甚至可以不需要氮气。
5、内部压缩型螺杆式：
除了使用一对非等距螺杆以外，外部压缩型螺杆式设计和内部压缩型螺杆式设计的基本原理非常类似。螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。这种设计由于产生内部压缩而使其耗电量降低到同多级泵相当的水平。在很多工艺中，这种内部压缩同多级泵相同，更容易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或者液化现象。
虽然干式螺杆真空泵的种类越来越多，但是通常的机械真空泵如爪式泵，其抽速难以做大，而且制造难度也大，成本高；另外还有利用多叶级数进行串连的罗茨泵，其缺点与爪式泵相仿。
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